特許
J-GLOBAL ID:200903069056088615
磁気センサ及び漏洩磁束探傷法並びに装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松月 美勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-210729
公開番号(公開出願番号):特開2002-022706
出願日: 2000年07月12日
公開日(公表日): 2002年01月23日
要約:
【要約】【課題】鋼板等の欠陥に起因する表面漏洩磁束を磁気インピ-ダンス素子で良好に検出できる磁気センサを提供する。【解決手段】基板11の片面に対向電極12を設け、外部磁界により変動される変動波を出力する磁気インピ-ダンス素子Aを前記の対向膜電極間に設け、基板片面からの高さHが1000μm以下、好ましくは500μm以下で、しかも磁気インピ-ダンス素子Aの基板片面からの高さhよりも高いスペ-サ13を基板片面に設けた。
請求項(抜粋):
物体の表面に片面を近接させて物体表面の局部的磁束を検出するためのセンサであり、基板の片面に対向電極を設け、外部磁界により変動される変動波を出力する磁気インピ-ダンス素子を前記の対向膜極間に設け、基板片面からの高さが1000μm以下で、しかも磁気インピ-ダンス素子の基板片面からの高さよりも高いスペ-サを基板片面に設けたことを特徴とする磁気センサ。
IPC (3件):
G01N 27/83
, G01R 33/02
, G01R 33/12
FI (4件):
G01N 27/83
, G01R 33/02 D
, G01R 33/02 M
, G01R 33/12 Z
Fターム (22件):
2G017AA04
, 2G017AA06
, 2G017AC07
, 2G017AC09
, 2G017AD69
, 2G017BA06
, 2G017BA12
, 2G017BA13
, 2G017CA01
, 2G017CB02
, 2G017CB11
, 2G017CB12
, 2G017CB23
, 2G017CC03
, 2G017CD00
, 2G053AA11
, 2G053AB22
, 2G053BA15
, 2G053BC01
, 2G053BC14
, 2G053CA17
, 2G053DB03
引用特許:
審査官引用 (8件)
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特開昭63-311165
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磁気インピーダンスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-269084
出願人:ミネベア株式会社
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特開昭62-220882
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引用文献:
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