研磨方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104882
公開番号（公開出願番号）：特開2000-290638
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】スクラッチやはがれ、ディシング、エロージョンを抑制し、且つ高い研磨速度で研磨する技術を提供する。【解決手段】酸化性物質と、酸化物を水溶性化する物質と増粘剤と水を含む研磨液で研磨する。

請求項（抜粋）：

絶縁膜上に形成された金属膜の少なくとも一部を除去する研磨方法において、酸化性物質と、酸化物を水溶性化する物質と増粘剤と水を含む研磨液を用い、前記金属膜表面を機械的に摩擦することを特徴とする研磨方法。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

C09K 3/14 550 Z , H01L 21/304 622 C

引用特許：

審査官引用 (7件)

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