三次元形状計測方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-168195
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343222
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成で、かつ高精度に被測定物を非接触測定できる三次元形状測定方法及び装置を提供すること。【解決手段】光ヘッドを用いて測定光を被測定試料面上にフォーカスさせ、試料の三次元形状を測定する光ヘテロダイン法を用いた三次元形状測定装置において、被測定試料面から得られる光ヘテロダインの測定ビート信号をフォーカス検出信号として用いることにより、被測定試料の形状を測定することを特徴とする三次元形状計測方法及び装置。

請求項（抜粋）：

光ヘッドを用いて測定光を被測定試料面上にフォーカスさせ、該試料の三次元形状を測定する三次元形状測定装置において、該被測定試料面からの光により得られる光ヘテロダインの測定ビート信号をフォーカス検出信号として用いることにより、該被測定試料の形状を測定することを特徴とする三次元形状計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G01B 11/00

FI (4件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 B , G01B 11/00 C , G01B 11/24 D

Fターム (50件)：

2F064AA09 , 2F064CC04 , 2F064FF01 , 2F064FF06 , 2F064GG04 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG33 , 2F064GG38 , 2F064GG39 , 2F064GG55 , 2F064GG70 , 2F064HH01 , 2F064HH06 , 2F064JJ05 , 2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA53 , 2F065EE05 , 2F065FF10 , 2F065FF49 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL35 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL57 , 2F065MM02 , 2F065NN06 , 2F065NN08 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ00 , 2F065QQ02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ33

引用特許：

出願人引用 (7件)

干渉計及び形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-349534 出願人：キヤノン株式会社
ヘテロダイン干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-221378 出願人：三菱電機株式会社
表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-219641 出願人：シチズン時計株式会社

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審査官引用 (6件)

干渉計及び形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-349534 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-188003
特開平2-173505

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