特許
J-GLOBAL ID：200903070917301992

表面欠陥検査装置

発明者：
吉 田 清

吉 田 清 について

, 
臼 井 徳 貴

臼 井 徳 貴 について


出願人/特許権者：
日産自動車株式会社

日産自動車株式会社 について


代理人 (1件)： 小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-319449
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149022
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 粉塵や埃などの異物が被検査面に付着したとしても、これらを欠陥として誤検出することがなく、微小な凹凸や突起などの表面欠陥のみを高い検出精度のもとに自動抽出することができる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 撮像手段2aにより形成された受光画像を画像処理手段20により処理し、画像処理手段20の欠陥候補検出手段21により検出し、第1検出位置算出手段27により算出した異物による誤検出データをも含む表面欠陥の検出位置データと、画像処理手段20の異物検出手段22により検出し、第2検出位置算出手段28により算出した異物の検出位置データとを検出位置比較照合手段29において照合し、欠陥候補検出手段21によって検出された孤立点のうち、異物検出手段22によって検出された孤立点と同じ位置にあるものについては、これを異物による誤検出と判断して欠陥情報から除去したうえで、表示手段11に表示する。
請求項（抜粋）：
被検査体の被検査面に対して被検査面の一方側斜め上方から所定の入射角度で照明光を照射する照明手段と、被検査面の他方側斜め上方において前記照明光の入射角度よりも小さい反射角度で反射される乱反射光を受光する所定の撮像角度に配置されて被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成する撮像手段と、前記撮像手段により得られる受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する画像処理手段と、前記画像処理手段により検出される欠陥の情報を出力して表示する表示手段と、前記照明光の入射角度および撮像手段の撮像角度が常に一定となるように照明手段および撮像手段と被検査面との相対位置および相対角度を制御する位置制御手段を有する表面欠陥検査装置において、前記画像処理手段は、前記撮像手段により得られる受光画像に基づいて被検査面上の欠陥と埃などの異物による孤立点を検出する欠陥候補検出手段と、該欠陥候補検出手段により検出された孤立点の位置を算出する第1検出位置算出手段と、前記撮像手段により得られる受光画像に基づいて被検査面上の欠陥よりも小さい埃などの異物による孤立点を検出する異物検出手段と、該異物検出手段により検出された孤立点の位置を算出する第2検出位置算出手段と、前記第1検出位置算出手段により算出された孤立点の検出位置と前記第2検出位置算出手段により算出された孤立点の検出位置とを比較照合して被検査面上の欠陥のみを検出する検出位置比較照合手段を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88
FI (4件)：
G06F 15/62 400 ,  G01B 11/30 G ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/88 Z
Fターム (66件)：
2F065AA49 ,  2F065BB05 ,  2F065BB15 ,  2F065CC11 ,  2F065DD04 ,  2F065DD13 ,  2F065FF42 ,  2F065FF65 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065PP05 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ33 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA89 ,  2G051AB07 ,  2G051BA20 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD03 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EC05 ,  2G051FA10 ,  5B057AA02 ,  5B057BA02 ,  5B057BA17 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC03 ,  5B057CE06 ,  5B057CE09 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC05 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
引用特許：
審査官引用 (12件)
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