特許
J-GLOBAL ID：200903070936362161
エアギャップの銅のインタコネクト
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276401
公開番号（公開出願番号）：特開2003-163264
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：
【要約】【課題】 層間絶縁体、あるいは層内絶縁体および層間絶縁体としてエアギャップを統合する銅のインタコネクトを製造する方法を提供すること。【解決手段】 層間絶縁構造の形成方法であって、第1の金属層を提供する工程と、第1の犠牲層を堆積する工程と、エッチング停止層を堆積する工程と、第2の犠牲層を堆積する工程と、2層のハードマスクを形成する工程と、2層のハードマスクをパターニングしてビアマスクおよびトレンチマスクを生成する工程と、第2の犠牲層をエッチングしてビアを形成する工程と、エッチング停止層の剥き出し部分と第1の犠牲層とをエッチングして第1の金属層を剥き出しにする工程と、第2の犠牲層をエッチングしてトレンチを形成する工程と、バリア金属および銅を堆積し、平坦化して第2の金属層を形成する工程と、第1および第2の犠牲層を分解して上記犠牲層をエアギャップと交換する工程とを包含する。
請求項（抜粋）：
a)第1の複数の金属線を含む第1の金属層と、b)第2の複数の金属線および該第1の金属層に接続された少なくとも1つのビアを備える第2の金属層と、c)該第1の金属層と第2の金属層との間に挿入されたエアギャップとを備える、層間絶縁構造。
Fターム (33件)：
5F033HH11
, 5F033HH18
, 5F033HH33
, 5F033JJ11
, 5F033JJ18
, 5F033JJ33
, 5F033KK11
, 5F033KK18
, 5F033KK33
, 5F033MM01
, 5F033MM02
, 5F033MM12
, 5F033MM13
, 5F033NN06
, 5F033NN07
, 5F033QQ12
, 5F033QQ25
, 5F033QQ28
, 5F033QQ37
, 5F033QQ48
, 5F033RR04
, 5F033RR06
, 5F033RR23
, 5F033RR30
, 5F033SS21
, 5F033TT02
, 5F033TT04
, 5F033VV04
, 5F033VV05
, 5F033WW04
, 5F033XX01
, 5F033XX19
, 5F033XX24
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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