特許
J-GLOBAL ID：200903071025866738
有機単分子膜の形成方法とそのパターニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094349
公開番号（公開出願番号）：特開2000-282240
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】稠密な単分子膜を簡便な方法で基板上に自己集積させる方法、更に有機単分子膜を精度良く、簡便な方法でパターニングする方法を提供する。【解決手段】基板をあらかじめ何らかの方法で洗浄した後、該表面を親水化させて、フッ化アルキルシランの単分子膜を該基板上に化学気相蒸着法で形成することで有機単分子膜を形成する。また酸素を含む雰囲気下で紫外線を照射し、フッ化アルキルシランの単分子膜を除去することで有機単分子膜をパターニングする。
請求項（抜粋）：
基板をあらかじめ何らかの方法で洗浄した後、該表面を親水化させて、フッ化アルキルシランの単分子膜を該基板上に化学気相蒸着法で形成することを特徴とする有機単分子膜の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2H096AA30
, 2H096BA09
, 2H096BA13
, 2H096CA01
, 2H096CA03
, 2H096CA17
, 2H096CA20
, 2H096EA02
, 2H096FA04
, 2H096HA23
, 4K030AA04
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030CA04
, 4K030CA07
, 4K030DA03
, 4K030EA01
, 4K030FA10
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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