特許
J-GLOBAL ID：200903071638533618
マイクロミラー素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
吉田 稔
, 田中 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-157299
公開番号（公開出願番号）：特開2006-251829
出願日： 2006年06月06日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】ミラー面の数の増加に伴う素子の大型化を抑制可能なマイクロミラー素子を提供すること。【解決手段】本発明のマイクロミラー素子は、フレーム部130と、ミラー部110を有する可動部と、フレーム部130および可動部を連結するトーションバー150とが形成されているマイクロミラー基板100と、配線パターン210が形成されている配線基板200と、マイクロミラー基板100および配線基板200を離隔させつつフレーム部130および配線パターン210を電気的に接続するための導電スペーサ300とを備え、導電スペーサ300は、積み重なる複数のバンプからなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
フレーム部と、ミラー部を有する可動部と、前記フレーム部および前記可動部を連結するトーションバーとが形成されているマイクロミラー基板と、
配線パターンが形成されている配線基板と、
前記マイクロミラー基板および前記配線基板を離隔させつつ前記フレーム部および前記配線パターンを電気的に接続するための導電スペーサと、を備え、
前記導電スペーサは、積み重なる複数のバンプからなる、マイクロミラー素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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