特許
J-GLOBAL ID：200903071971547278
磁場中走査型マルチプローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226471
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050885
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 強磁場中において測定可能な光検知型のマルチプローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料(1)を3次元方向に移動させるための圧電素子(2)と、この圧電素子(2)を駆動するための圧電素子駆動回路(3)と、プローブ(7)を先端に有するカンチレバー(4)と、カンチレバー(4)の変位角度を検出するためのレーザ光源(5)およびレーザー光検出素子(6)とを備え、カンチレバー(4)を取り替えて使用することが可能な走査型マルチプローブ顕微鏡であって、冷凍機冷却による大口径超伝導磁石(9)の作る強磁場中に真空容器(10)を設置し、真空容器(10)内部に試料(1)と前記圧電素子(2)と前記カンチレバー(4)を設置し、真空容器(10)内部または外部に設置された前記レーザ光源(5)および前記レーザー光検出素子(6)により、前記カンチレバー(4)の変位角度を測定することにより、試料表面の測定を行う。
請求項（抜粋）：
試料を3次元方向に移動させるための圧電素子と、この圧電素子を駆動するための圧電素子駆動回路と、プローブを先端に有するカンチレバーと、カンチレバーの変位角度を検出するためのレーザ光源およびレーザー光検出素子とを備え、カンチレバーを取り替えて使用することが可能な走査型マルチプローブ顕微鏡であって、冷凍機冷却による大口径超伝導磁石の作る強磁場中に真空容器を設置し、真空容器内部に試料と前記圧電素子と前記カンチレバーを設置し、真空容器内部または外部に設置された前記レーザ光源および前記レーザー光検出素子により、前記カンチレバーの変位角度を測定することにより、試料表面の測定を行うことを特徴とする磁場中走査型マルチプローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/10
, G01B 21/30
, G01N 13/16
G01N 13/10 D
, G01B 21/30 Z
, G01N 13/16 C
2F069AA60
, 2F069AA61
, 2F069DD27
, 2F069DD30
, 2F069GG07
, 2F069GG62
, 2F069HH05
, 2F069JJ15
, 2F069KK07
, 2F069KK10
, 2F069LL03
, 2F069LL10
