特許
J-GLOBAL ID：200903072778622897
ペリクル膜劣化識別方法およびそのためのペリクル膜
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
及川 泰嘉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-124079
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315982
出願日： 2002年04月25日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】【課題】ペリクル膜の劣化程度を簡単な検査で正確に判断することができるペリクル膜劣化識別方法およびそのためのペリクル膜を提供すること。【解決手段】 ペリクル膜劣化識別方法において、識別装置によって、ペリクル膜10上に形成したパターン13を測定し、その測定結果から前記ペリクル膜10の劣化を識別すること。
請求項（抜粋）：
識別装置によって、ペリクル膜上に形成したパターンを測定し、その測定結果から前記ペリクル膜の劣化を識別することを特徴とするペリクル膜劣化識別方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
2H095BA02
, 2H095BA07
, 2H095BC32
, 2H095BC34
, 2H095BD08
