特許
J-GLOBAL ID：200903073016760776

平面表示パネルの検査装置

発明者：
下野 善弘

下野 善弘 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-135629
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340666
出願日： 2003年05月14日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】平面表示パネルを、人間の目の特性に合わせた周囲輝度との違いといった僅かな欠陥についても適切に検知することができると共に、極めて高速に処理することができる平面表示パネルの検査装置を提供する。【解決手段】複数の受光素子を有する光学センサ6と、この光学センサ6を走査させる走査駆動部5と、検査対象のサブピクセルの輝度Bx,y をこのサブピクセルに対して走査方向に隣接する複数のサブピクセルにおける輝度Bx,y-3 〜Bx,y+3 の平均値(SX /N)と比較することで表示欠陥の有無を光学的に検出する機能を有する演算処理部7とを有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
複数の受光素子を有する光学センサと、 この光学センサを走査させる走査駆動部と、 検査対象のサブピクセルの輝度をこのサブピクセルに対して走査方向に隣接する複数のサブピクセルにおける輝度の平均値と比較することで表示欠陥の有無を光学的に検出する機能を有する演算処理部とを有することを特徴とする平面表示パネルの検査装置。
IPC (3件)：
G01M11/00 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00
FI (3件)：
G01M11/00 T ,  G02F1/13 101 ,  G09F9/00 352
Fターム (24件)：
2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB10 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088HA06 ,  2H088MA20 ,  5G435AA19 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435DD10 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (10件)
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