レジスト剥離液の管理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-321248
公開番号（公開出願番号）：特開2003-122029
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】レジスト剥離液の寿命を正確に判断し、これに基づきレジスト剥離液を管理する方法及びレジスト剥離液を長寿命化する方法を提供することにある。【解決手段】レジスト剥離液中の炭酸ガス濃度を3重量%以下に維持する。

請求項（抜粋）：

レジスト剥離液中の炭酸ガス濃度を3重量%以下に維持することを特徴とするレジスト剥離液の管理方法。

IPC (2件)：

G03F 7/42 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/42 , H01L 21/30 572 B

Fターム (7件)：

2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096LA02 , 2H096LA03 , 2H096LA16 , 5F046MA19

引用特許：

審査官引用 (7件)

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