液晶表示装置及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岩佐義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-096263
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296609
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】塗布系の絶縁膜上のITO膜の成膜に際し、エッチング残渣を生じさせず、且つ、ITO膜と下層金属膜との間のコンタクト抵抗を低減することにより、液晶表示面での表示不良を無くすことができる液晶表示装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板上にマトリクス状に配置された走査線及び信号線と、これらに接続されるTFTと、TFTに塗布系の層間絶縁膜を介して接続された画素電極とを有する液晶表示装置の製造方法において、層間絶縁膜上へ透明導電膜を成膜する際の基板温度を、100〜170°Cとする。また、層間絶縁膜上へ透明導電膜を成膜する際、非加熱で酸素流量比を1%以下とし、且つ、成膜後アニールを行う。

請求項（抜粋）：

基板上にマトリクス配置されたバス配線と、前記バス配線に接続されるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に塗布系の層間絶縁膜を介して接続された画素電極とを有する液晶表示装置の製造方法において、前記層間絶縁膜上へ透明導電膜を成膜する際の前記基板の温度を、100°C〜170°Cとすることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (8件)：

G02F 1/1343 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 330 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 , C23C 14/08

FI (8件)：

G02F 1/1343 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 330 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 A , C23C 14/08 D

Fターム (41件)：

2H090HA04 , 2H090HA05 , 2H090HB02X , 2H090HC08 , 2H090HC12 , 2H092HA04 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB56 , 2H092KA16 , 2H092KA18 , 2H092KB25 , 2H092MA19 , 2H092MA25 , 2H092MA26 , 2H092MA35 , 2H092NA25 , 2H092NA28 , 4K029AA09 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029EA05 , 4K029EA08 , 4K029GA01 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA07 , 5C094GB10 , 5C094JA01 , 5C094JA08 , 5C094JA20 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435KK09 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (11件)

薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086291 出願人：三菱電機株式会社
プロジェクション型表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-069179 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
アクティブマトリックス型液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-071292 出願人：アルプス電気株式会社

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