特許
J-GLOBAL ID：200903073836957574
スクラブ洗浄装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044343
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237209
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 洗浄効率のより高性能化及びメンテナンス性に優れたスクラブ洗浄装置を実現する。【解決手段】 ウエハWを略垂直に保持しながら回転させるウエハ回転保持手段1と、ウエハWの片面又は両面に対し回転しながら擦るブラシ手段2と、洗浄液をウエハW側に供給する液供給手段3とを備えたスクラブ洗浄装置において、ブラシ手段2は、有底筒状をなして、壁面に多数の液通し孔25を形成している回転軸部材21と、回転軸部材21の外周に装着されるブラシ部材22とからなり、洗浄液が、液供給手段3から回転軸部材21の一端開口21aより筒内へ供給されて、液通し孔25からブラシ部材22を通って吐き出されるよう構成した。
請求項（抜粋）：
ウエハを略垂直に保持しながら回転させるウエハ回転保持手段と、前記ウエハの片面又は両面に対し回転しながら擦るブラシ手段と、洗浄液をウエハ側に供給する液供給手段とを備えたスクラブ洗浄装置において、前記ブラシ手段は、有底筒状をなして、壁面に多数の液通し孔を形成している回転軸部材と、該回転軸部材の外周に装着される弾性ブラシ部材とからなり、前記洗浄液が、前記液供給手段から前記回転軸部材の一端開口より筒内へ供給されて、前記液通し孔から前記ブラシ部材を通って吐き出されることを特徴とするスクラブ洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 644
, B08B 1/04
H01L 21/304 644 C
, B08B 1/04
3B116AA03
, 3B116AB33
, 3B116AB42
, 3B116BA02
, 3B116BA08
, 3B116BA15
, 3B116BB03
, 3B116CD23
