特許
J-GLOBAL ID：200903073853914811
蒸着用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-122004
公開番号（公開出願番号）：特開2007-291461
出願日： 2006年04月26日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】蒸着マスクの投影角に変化が生じないようにすることで、被蒸着面に対する蒸着材料の均一な定着を行う。【解決手段】蒸着マスクを固定する蒸着用フォルダ100として、棒状部材をインロー構造により接合した構造を採用する。インロー構造は、例えば凸部103bと凹部102aとの嵌め合い構造とし、望ましくは締り嵌め構造とする。また望ましくは、台座への固定を行う四隅のネジ孔を円孔と長孔を組み合わせたものとし、台座への固定部分が蒸着用フォルダの2次元的な熱変形に追従するようにした伸縮追従機構を配置する。これらの構成を採用することで、熱変形による蒸着用フォルダの平坦性の悪化を抑え、蒸着マスクの投影角の変化を抑えることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被蒸着部材に蒸着マスクを固定する蒸着用治具であって、
炭素鋼よりも線膨張係数が低い材質の複数の棒状部材と、
前記複数の棒状部材を接合するインロー構造と
を備えていることを特徴とする蒸着用治具。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4K029BA41
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB05
, 4K029DB14
, 4K029HA04
出願人引用 (2件)
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蒸着用治具
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-023485
出願人：日本精機株式会社
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蒸着用治具及び蒸着方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-304490
出願人：ソニー株式会社
審査官引用 (7件)
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引用文献：
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