特許
J-GLOBAL ID：200903075138956631

蒸着マスク用金属製フレームの製造方法

発明者：
竹原 隆司

竹原 隆司 について

, 
河合 洋一

河合 洋一 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-213588
公開番号（公開出願番号）：特開2007-035336
出願日： 2005年07月25日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 蒸着マスクの大型化に対応できる大型の蒸着マスク用金属製フレームを、高い歩留まり率、高い生産性にて製造できる、蒸着マスク用金属製フレームの製造方法を提供する。【解決手段】 蛍光体を所望の位置に塗装するために形成された、多数の貫通孔が形成された金属薄板製でなるマスク部の縁側を保持する枠状の蒸着マスク用金属製フレームの製造方法であって、(1)RT〜450°Cの熱膨張係数が11×10-6/°C以下の金属材料から、フレームの一辺となる金属製フレーム用部品に加工する工程と、(2)金属製フレーム用部品同士を接合させて400mm(w)×500mm(l)以上の大きさの枠状部品にする工程と、(3)枠状部品を平坦化加工して、平坦度が0.05mm以下の蒸着マスク用金属製フレームとする工程、を含む蒸着マスク用金属製フレームの製造方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
蛍光体を所望の位置に塗装するために形成された、多数の貫通孔が形成された金属薄板製でなるマスク部の縁側を保持する枠状の蒸着マスク用金属製フレームの製造方法であって、 (1)RT〜450°Cの熱膨張係数が11×10-6/°C以下の金属材料から、フレームの一辺となる金属製フレーム用部品に加工する工程と、 (2)金属製フレーム用部品同士を接合させて400mm(w)×500mm(l)以上の大きさの枠状部品にする工程と、 (3)枠状部品のマスク部搭載面を平坦化加工して、平坦度が0.05mm以下の蒸着マスク用金属製フレームとする工程、 を含むことを特徴とする蒸着マスク用金属製フレームの製造方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A
Fターム (5件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029HA04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
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