特許
J-GLOBAL ID：200903074000273367

ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者：
甲斐 敏之

甲斐 敏之 について

, 
一戸 大吾

一戸 大吾 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-262027
公開番号（公開出願番号）：特開2003-076019
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】 通常濃度のアルカリ現像液に適用でき、かつ通常のライン・アンド・スペースパターンにおいて、高解像度で矩形のレジストパターンを形成することができ、現像後にレジストパターン欠陥(橋架け(ブリッジング)、欠け)がなく、感度、現像性、寸法忠実度等にも優れる化学増幅型ネガ型レジストのためのネガ型感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)フェノール性水酸基を有する重合性不飽和化合物の重合単位を含有してなるアルカリ可溶性樹脂、このアルカリ可溶性樹脂は重量平均分子量が4,100〜20,000であり、重量平均分子量/数平均分子量の比が1.25より大きく2.00以下である、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)酸架橋剤からなるネガ型感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)フェノール性水酸基を有する重合性不飽和化合物の重合単位を含有してなるアルカリ可溶性樹脂、このアルカリ可溶性樹脂は重量平均分子量が4,100〜20,000であり、重量平均分子量/数平均分子量の比が1.25より大きく2.00以下である、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)酸架橋剤からなることを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/038 601 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/038 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (19件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC07 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
審査官引用 (6件)
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