特許
J-GLOBAL ID：200903013673655823
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329642
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149160
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 化学増幅型ネガ型レジストとして、高解像度で矩形のレジストパターンを形成することができ、かつ感度、現像性、寸法忠実度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(イ)p-ヒドロキシ(α-メチル)スチレンに由来する繰返し単位で代表される親水性スチレン系繰返し単位を含有するブロック単位Aと、(α-メチル)スチレン、(メタ)アクリル酸アダマンチル等に由来する繰返し単位で代表される疎水性繰返し単位からなるブロック単位Bとからなるアルカリ可溶性のブロック共重合体、(ロ)酸の存在下で前記(イ)成分を架橋しうる化合物、および(ハ)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(イ)下記一般式(1)で表される繰返し単位(1)を必須の繰返し単位とし、場合により下記一般式(2)で表される繰返し単位(2)を有するブロック単位Aと、下記一般式(3)で表される繰返し単位(3)からなるブロック単位Bとを含有するアルカリ可溶性のブロック共重合体、(ロ)酸の存在下で前記(イ)成分を架橋しうる化合物、並びに(ハ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔一般式(2)において、R2 およびR3 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、R4 は水素原子、フェニル基、シアノ基または-COOR10(但し、R10は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基もしくは炭素数3〜20の環式基を示す。)を示し、R5 は水素原子、シアノ基または-COOR11(但し、R11は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基もしくは炭素数3〜20の環式基を示す。)を示すか、あるいはR4 とR5 とが結合して酸無水物基を形成している。〕【化3】〔一般式(3)において、R6 およびR7 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、R8 は水素原子、フェニル基、シアノ基または-COOR12(但し、R12は炭素数1〜10のアルキル基もしくは炭素数3〜20の環式基を示す。)を示し、R9 は水素原子、シアノ基または-COOR13(但し、R13は炭素数1〜10のアルキル基もしくは炭素数3〜20の環式基を示す。)を示す。〕
IPC (3件)：
G03F 7/038 601
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/038 601
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
