特許
J-GLOBAL ID:200903074137531916

切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-310562
公開番号(公開出願番号):特開2003-071611
出願日: 2001年10月05日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】【課題】 TiAlSiN膜よりも耐摩耗特性に優れた切削工具用硬質皮膜を提供する。【解決手段】 (Ti<SB>1-a-b-c-d</SB>,Al<SB>a</SB>,Cr<SB>b</SB>,Si<SB>c</SB>,B<SB>d</SB>)(C<SB>1-e</SB>N<SB>e</SB>)からなる硬質皮膜であって、Al,Cr,Si,Bのそれぞれの原子比a,b,c,dが、0.5≦a≦0.8、0.06≦b、0≦c≦0.1、0≦d≦0.1、0.01≦c+d≦0.1およびa+b+c+d<1を満たすようにし、かつNの原子比eが0.5≦e≦1を満たすようにする。
請求項(抜粋):
(Ti<SB>1-a-b-c-d</SB>,Al<SB>a</SB>,Cr<SB>b</SB>,Si<SB>c</SB>,B<SB>d</SB>)(C<SB>1-e</SB>N<SB>e</SB>)からなる硬質皮膜であって、0.5≦a≦0.8、0.06≦b、0≦c≦0.1、0≦d≦0.1、0.01≦c+d≦0.1、a+b+c+d<1、0.5≦e≦1(a,b,c,dは、それぞれAl,Cr,Si,Bの原子比を示し、eはNの原子比を示す。以下同じ)であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
IPC (4件):
B23B 27/14 ,  B23B 51/00 ,  B23C 5/16 ,  C23C 14/06
FI (4件):
B23B 27/14 A ,  B23B 51/00 J ,  B23C 5/16 ,  C23C 14/06 H
Fターム (19件):
3C037CC02 ,  3C037CC04 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  3C046FF18 ,  3C046FF19 ,  3C046FF24 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA13 ,  4K029EA08
引用特許:
審査官引用 (13件)
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