弾性表面波素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：牛久健司 , 井上正 , 高城貞晶
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-072659
公開番号（公開出願番号）：特開2004-282515
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【目的】高い電気機械結合係数K2 が得られ,かつ遅延時間温度係数TCDを零にすることができる弾性表面波素子を提供する。【構成】カット角が0°〜22°および90°〜 180°の範囲内にあるランガサイト結晶基板10のカット面上に,少なくとも一つの,実効的に高密度な弾性表面波電極11を,85°〜95°の伝搬方法のラブ波型SH波を発生する配置で設け,弾性表面波電極11の規格化膜厚を0.3 以下とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

オイラー角表示で(0°,θ,ψ)で表されるランガサイト・ファミリー結晶基板の,θが0°〜22°および90°〜 180°の範囲内にあるカット面上に,少なくとも一つの,実効的に高密度な弾性表面波電極が,ψが85°〜95°の伝搬方向でラブ波型SH波を発生する配置で設けられている,弾性表面波素子。

IPC (4件)：

H03H9/25 , H01L41/09 , H01L41/18 , H03H9/145

FI (5件)：

H03H9/25 C , H03H9/145 C , H01L41/08 U , H01L41/08 C , H01L41/18 101A

Fターム (14件)：

5J097AA29 , 5J097BB01 , 5J097BB11 , 5J097DD28 , 5J097FF01 , 5J097FF03 , 5J097GG01 , 5J097GG07 , 5J097KK01 , 5J097KK05 , 5J097KK06 , 5J097KK07 , 5J097KK08 , 5J097KK10

引用特許：

出願人引用 (10件)

特許第3269466号
弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-036001 出願人：株式会社村田製作所
表面波装置及び通信機装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-248903 出願人：株式会社村田製作所

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審査官引用 (10件)

特許第3269466号
表面波共振子、表面波フィルタ、共用器、通信機装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-235772 出願人：株式会社村田製作所
表面弾性波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-068370 出願人：三菱マテリアル株式会社

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引用文献：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (2件)

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