検査冶具および検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アイアット国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-123162
公開番号（公開出願番号）：特開2005-338065
出願日： 2005年04月21日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】屈曲可能で弾性を有するプローブの撓みを利用して検査を行うための検査冶具において、プローブ交換を容易に行うことができるにも拘らず、簡単な構造とすることができる検査治具の新規な構成を実現すること。【解決手段】検査冶具10は、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔を備えた先端側支持体11と、先端側支持体11の後方に間隔を介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜したプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体12と、その先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通された先端側部分および後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブ14と、後端側支持体12の後方に配置され、後端側部分に当接する電極16とを具備し、プローブ14の先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔を備えた先端側支持体と、上記先端側支持体の後方に間隔を介して配置され、上記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜したプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体と、その先端が上記検査対象側において出没可能となるように上記先端側挿通孔に挿通された先端側部分および上記後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブと、上記後端側支持体の後方に配置され、上記後端側部分に当接する電極と、を具備し、上記プローブの上記先端側部分は、上記後端側部分に対して上記後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されていることを特徴とする検査冶具。

IPC (3件)：

G01R31/26 , G01R1/067 , G01R1/073

FI (3件)：

G01R31/26 J , G01R1/067 C , G01R1/073 D

Fターム (17件)：

2G003AA00 , 2G003AG03 , 2G003AG20 , 2G003AH04 , 2G003AH06 , 2G011AA02 , 2G011AA15 , 2G011AB04 , 2G011AB06 , 2G011AB07 , 2G011AB08 , 2G011AC05 , 2G011AC06 , 2G011AC14 , 2G011AE01 , 2G011AE22 , 2G011AF07

引用特許：

出願人引用 (2件)

プローバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-084969 出願人：古河電気工業株式会社
半導体試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-290356 出願人：株式会社アドバンテスト

審査官引用 (8件)

特開平4-278476
プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-193338 出願人：株式会社ヨコオ, 東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-193036 出願人：株式会社日本マイクロニクス

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