特許
J-GLOBAL ID：200903078059791120
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193036
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021585
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【目的】 プローブの配置ピッチが小さくても、プローブの後端部を接続する接続部を大きくすること【解決手段】 プローブカードは、針先部及び針後部を針主体部に対し反対側へ曲げた複数のプローブを支持体に並列的に配置した複数のプローブユニットを基板に格子状に配置している。各プローブユニットのプローブは、基板に形成されたスロットに受け入れられている。同じスロットに受け入れられた隣り合うプローブの針主体部に対する針後部の曲げ角度は異なる。これにより、隣り合うプローブの後端部の間隔が大きくなる。
請求項（抜粋）：
針先部及び針後部を両者の間の針主体部に対し反対側へ曲げた複数のプローブをそれらの針主体部と針後部との境界付近において支持体に配置した1以上のプローブユニットと、1以上のスロットを有する基板とを含み、前記プローブユニットは、前記プローブの針先が前記基板の一方の面側となりかつ前記プローブの後端部が少なくとも前記スロットに位置する状態に、前記基板に装着されており、少なくとも前記スロットの長手方向に隣り合うプローブの針主体部に対する針後部の曲げ角度は異なる、プローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AA17
, 2G011AB06
, 2G011AC06
, 2G011AD01
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106CA70
, 4M106DD03
, 4M106DD04
, 4M106DD09
, 4M106DD10
, 4M106DD11
