特許
J-GLOBAL ID：200903075941025930

酸化物焼結体、その製造方法、それを用いた透明導電膜の製造方法、及び得られる透明導電膜

発明者：
阿部 能之

阿部 能之 について

, 
中山 徳行

中山 徳行 について

, 
小原 剛

小原 剛 について

, 
和気 理一郎

和気 理一郎 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (1件)： 河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-026580
公開番号（公開出願番号）：特開2007-277075
出願日： 2007年02月06日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】高い直流電力を投入してもアーキングやクラックの発生がなくスパッタリングできるターゲットとして有用な、実質的に亜鉛、スズ、および酸素からなる酸化物焼結体、及び酸化物透明導電膜を高速で成膜しうる製造方法、及び耐薬品性に優れる酸化物透明導電膜を提供する。【解決手段】実質的に亜鉛、スズおよび酸素からなる酸化物焼結体であって、スズがSn/(Zn+Sn)の原子数比として0.23〜0.50含有され、かつ主として酸化亜鉛相とスズ酸亜鉛化合物相とから構成される酸化物焼結体;スズ酸亜鉛化合物粉、あるいは酸化スズ粉と酸化亜鉛粉との混合粉を含む原料粉末に、水系溶媒を配合し、得られたスラリーを15時間以上混合した後、固液分離・乾燥・造粒し、引き続き、この造粒物を型枠に入れて成形した後、得られた成形物を焼成雰囲気中、1300〜1500°Cで15時間以上焼結する酸化物焼結体の製造方法により提供。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
実質的に亜鉛、スズおよび酸素からなる酸化物焼結体であって、スズがSn/(Zn+Sn)の原子数比として0.23〜0.50含有され、かつ、主として酸化亜鉛相とスズ酸亜鉛化合物相とから構成されるか、スズ酸亜鉛化合物相で構成されることを特徴とする酸化物焼結体。
IPC (6件)：
C04B 35/453 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  C04B 35/457
FI (7件)：
C04B35/00 P ,  H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B ,  C23C14/08 C ,  C23C14/34 A ,  C23C14/34 R ,  C04B35/00 R
Fターム (36件)：
4G030AA16 ,  4G030AA20 ,  4G030AA21 ,  4G030AA23 ,  4G030AA24 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030AA39 ,  4G030AA42 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030GA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029EA09 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC03 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 透明導電膜の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-079645   出願人：グンゼ株式会社
  • 特開平2-145458号公報
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM