特許
J-GLOBAL ID:200903076037876773
半導体装置とその製造方法、及び半導体装置の設計プログラム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
工藤 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-144723
公開番号(公開出願番号):特開2006-324360
出願日: 2005年05月17日
公開日(公表日): 2006年11月30日
要約:
【課題】オン電流の特性を向上させること【解決手段】本発明に係る半導体装置1は、基板8上に形成された複数のPMOSトランジスタと、基板8上に形成された複数のNMOSトランジスタとを備える。複数のPMOSトランジスタは、基板8中に形成される素子分離構造20によって、互いに電気的に分離される。一方、複数のNMOSトランジスタは、互いに隣接して連続的に形成される。また、複数のNMOSトランジスタのうち少なくとも一組の隣接するNMOSトランジスタの間の領域において、基板8上にゲート構造30が形成される。このゲート構造30が接地されることによって、NMOSトランジスタに関する素子分離は実現される。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
基板上に形成された複数のPMOSトランジスタと、
前記基板上に形成された複数のNMOSトランジスタと
を具備し、
前記複数のPMOSトランジスタは、前記基板中に形成される素子分離構造によって、互いに電気的に分離され、
前記複数のNMOSトランジスタは、互いに隣接して連続的に形成され、
前記複数のNMOSトランジスタのうち少なくとも一組の隣接するNMOSトランジスタの間の領域において、前記基板上にゲート構造が形成された
半導体装置。
IPC (6件):
H01L 21/823
, H01L 27/092
, H01L 29/06
, H01L 21/82
, H01L 21/76
, H01L 27/118
FI (5件):
H01L27/08 321E
, H01L29/06 301F
, H01L21/82 B
, H01L21/76 L
, H01L21/82 M
Fターム (32件):
5F032AA34
, 5F032AA44
, 5F032BA01
, 5F032BA05
, 5F032CA17
, 5F032CA20
, 5F048AA08
, 5F048AB02
, 5F048AC03
, 5F048BA02
, 5F048BB03
, 5F048BC18
, 5F048BD10
, 5F048BF15
, 5F048BF16
, 5F048BF18
, 5F048BG00
, 5F048BG11
, 5F048BG13
, 5F064AA03
, 5F064AA04
, 5F064BB07
, 5F064CC12
, 5F064DD02
, 5F064DD19
, 5F064DD31
, 5F064EE02
, 5F064EE52
, 5F064HH07
, 5F064HH12
, 5F064HH13
, 5F064HH14
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-338130
出願人:松下電器産業株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-002919
出願人:株式会社日立製作所
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半導体集積回路装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-162144
出願人:株式会社日立製作所
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