特許
J-GLOBAL ID:200903076134775116
放射線検出センサおよび放射線検出センサユニット
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森田 雄一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-319089
公開番号(公開出願番号):特開2009-139346
出願日: 2007年12月11日
公開日(公表日): 2009年06月25日
要約:
【課題】素子を形成するウエハサイズなどの制約に影響されない構造、および、検出面を大面積化しても静電容量を増大させない構造、をそれぞれ採用して大型の検出対象に適用可能な低消費電力・簡易構造の半導体型の放射線検出センサを提供する。さらに、このような放射線検出センサを複数用いてさらなる大型の検出対象に適用可能な半導体型の放射線検出センサユニットを提供する。【解決手段】回路基板2の検出素子設置面の配線部21とワイヤ配線部3との接続位置と、回路基板2の信号処理部設置面の配線部21と信号処理部4との接続位置と、が回路基板2の表裏でそれぞれが略一致することで信号経路を短縮した放射線検出センサ100とした。また、このような放射線検出センサ100を搭載した放射線検出センサユニットとした。【選択図】図5
請求項(抜粋):
検出素子設置面と信号処理部設置面という表裏2層にまたがる配線部が形成される回路基板と、
回路基板の検出素子設置面の配線部に電気的に接続されるようにm×n(m,nはそれぞれ2以上の自然数)のマトリクス状に並べて配置されるm×n個の放射線検出素子と、
回路基板の検出素子設置面の配線部とm×n個の放射線検出素子とが電気的に接続されるm×n個のワイヤ配線部と、
回路基板の信号処理部設置面の配線部と電気的に接続されるm×n個の信号処理部と、
を備え、
回路基板の検出素子設置面の配線部とワイヤ配線部とのm×n個の接続位置と、回路基板の信号処理部設置面の配線部と信号処理部とのm×n個の接続位置と、は回路基板の表裏でそれぞれが略一致することを特徴とする放射線検出センサ。
IPC (5件):
G01T 1/24
, G01T 1/169
, G01T 1/167
, H01L 27/14
, H01L 31/09
FI (5件):
G01T1/24
, G01T1/169 A
, G01T1/167 E
, H01L27/14 K
, H01L31/00 A
Fターム (31件):
2G088EE07
, 2G088EE17
, 2G088FF04
, 2G088GG21
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088KK01
, 2G088LL11
, 4M118AA04
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA04
, 4M118BA05
, 4M118BA06
, 4M118CA03
, 4M118CB06
, 4M118GA10
, 4M118HA21
, 5F088AA02
, 5F088AB03
, 5F088AB05
, 5F088BA20
, 5F088BB06
, 5F088CA01
, 5F088CB09
, 5F088DA17
, 5F088EA04
, 5F088GA03
, 5F088KA02
, 5F088KA10
, 5F088LA08
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (10件)
全件表示
前のページに戻る