特許
J-GLOBAL ID:200903076968594682
光ファイバセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
平山 一幸
, 篠田 哲也
, 海津 保三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-107976
公開番号(公開出願番号):特開2005-291946
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】 波長分散型分光器を用い、迅速な測定ができる光ファイバセンサを提供する。【解決手段】 白色光源5から成るインコヒーレント光を、カップラ4を介してダイヤフラムセンサ部3へ入射するセンサ系10と、ダイヤフラムセンサ部3からの戻り光がカップラ4を介して入射する波長分散型分光器30と、戻り光信号が入力される信号処理系40とを含む光ファイバセンサ1であって、戻り光信号からダイヤフラムセンサ部3への圧力,力,温度,流速の何れかを測定する。戻り光信号をデジタル信号に変換するA/Dコンバータ42及び圧力値を表示するD/Aコンバータ43ーが、電子計算機41とシリアル又はパラレルインターフェースにより接続されていれば、圧力や力を高速で、かつ、高分解能で測定できる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
センサ系と波長分散型分光器と信号処理系とを有する光ファイバセンサであって、
上記センサ系は、白色光源と、該白色光源に接続されるカップラと、該カップラに接続される光ファイバと、該光ファイバの先端に配設されるダイヤフラムセンサ部と、から構成され、
上記ダイヤフラムセンサ部は、ダイヤフラムユニットと、スペーサー部と、上記光ファイバの先端面に設けられたハーフミラー層と、該ダイヤフラムユニットの内面に設けられた全反射層と、からなり、上記光ファイバの先端面に対して内部空間を備え、
上記信号処理系は電子計算機とA/Dコンバータとを有し、上記電子計算機と上記A/Dコンバータとがシリアル又はパラレルインターフェースにて接続されて成り、
上記白色光源から上記カップラを介して上記光ファイバに入射する光による上記ハーフミラー層及び全反射層での反射光の位相ずれによる戻り光を上記波長分散型分光器に入射し、
上記戻り光信号を上記波長分散型分光器から上記信号処理系に出力し、
上記信号処理系が、上記ダイヤフラムセンサ部への外部圧力で発生する変位による該戻り光信号の干渉特性に基づいて上記ダイヤフラムセンサ部の変位を検出し、この変位から圧力、力、温度の何れかを測定することを特徴とする、光ファイバセンサ。
IPC (7件):
G01L9/00
, A61B5/0215
, G01D5/26
, G01K5/58
, G01K11/12
, G01L1/04
, G01P5/16
FI (7件):
G01L9/00 B
, G01D5/26 D
, G01K5/58
, G01K11/12 F
, G01L1/04
, G01P5/16 Z
, A61B5/02 331D
Fターム (26件):
2F055AA40
, 2F055BB05
, 2F055CC02
, 2F055DD04
, 2F055EE31
, 2F055FF11
, 2F055GG11
, 2F056VF08
, 2F056VF11
, 2F056VF15
, 2F056VF16
, 2F103BA01
, 2F103CA03
, 2F103CA06
, 2F103CA08
, 2F103EB05
, 2F103EB14
, 2F103EC08
, 2F103EC10
, 2F103EC12
, 2F103ED27
, 2F103ED28
, 4C017AA08
, 4C017AB10
, 4C017AC26
, 4C017FF01
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (12件)
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光式外力検知装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-227378
出願人:古河電気工業株式会社
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力測定用変換器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-115978
出願人:ヴァイサラテクノロジーズインコーポレイテッドオイ
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圧力センサおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-326599
出願人:江刺正喜
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光ファイバを用いた物理量検出装置および物理量検出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-178938
出願人:株式会社共和電業
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流体の流量計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-266278
出願人:日野自動車工業株式会社
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特開昭57-108633
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特開昭57-108633
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波長モニタ及びレーザ光源装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-025826
出願人:サンテック株式会社
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特開昭60-061637
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特開昭60-061637
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特開昭57-108633
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特開昭60-061637
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