高開口数システムの固定および動的ラジアル横方向電気偏光器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：浅村皓 , 浅村肇 , 吉田裕 , 岩本行夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-090530
公開番号（公開出願番号）：特開2004-258670
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】第1屈折率を有する材料の第1層、第2屈折率を有する材料の第2層、および方位角で周期的に隔置されて第1層と第2層との間に配置された複数の細長い要素を含むラジアル横方向電気偏光器装置を提供すること。【解決手段】ラジアル横方向電気偏光器は、第1屈折率を有する材料の第1層と、第2屈折率を有する材料の第2層と、方位角で周期的に隔置され、第1層と第2層との間に配置された複数の細長い要素とを含む。複数の細長い要素が、放射線の電磁波と相互作用して、放射線の電磁波の横方向電気偏光を透過する。偏光器デバイスは、例えばリソグラフィ投影装置に使用して、描像の解像度を上げることができる。デバイス製造方法は、放射線ビームを横方向電気偏光で偏光することを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ラジアル横方向電気偏光器デバイスで、第1屈折率を有する材料の第1層と、第2屈折率を有する材料の第2層と、方位角で周期的に隔置され、前記第1層と前記第2層との間に配置された複数の細長い要素とを備え、前記複数の細長い要素が放射線の電磁波と相互作用して、放射線の電磁波の横方向電気偏光を透過するラジアル横方向電気偏光器デバイス。

IPC (3件)：

G02B5/30 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (3件)：

G02B5/30 , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D

Fターム (10件)：

2H049BA05 , 2H049BA45 , 2H049BA47 , 2H049BC08 , 2H049BC09 , 2H049BC21 , 5F046BA03 , 5F046CA08 , 5F046CB15 , 5F046CB24

引用特許：

審査官引用 (7件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-291465 出願人：株式会社ニコン
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-219782 出願人：株式会社ニコン
マイクロリソグラフィーによる接線偏光型投影露光
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-044689 出願人：カール・ツアイス・スティフツング

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