特許
J-GLOBAL ID：200903077482766054

ウェーハ形状測定装置

発明者：
竹村 文宏

竹村 文宏 について


出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

東芝セラミックス株式会社 について


代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170171
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004341
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 ノッチ部分の形状だけでなく、ウェーハ直径やオリフラ長さなども非接触状態で精度よく測定することができるウェーハ形状測定装置を提供する。【解決手段】 回転自在とされたウェーハステージ22と、ウェーハ11のノッチ部分を垂直方向から撮像するテレビカメラ13と、ウェーハの他面側からノッチ部分に光を照射する第1照明灯15と、ウェーハの面取り面を照射しない角度でウェーハ表面に対して光を照射する第2照明灯16と、ウェーハの面取り面とウエーハ表面に対して光を照射する第3照明灯17とが具備される。そして、これら第1〜第3の照明灯を制御して点灯の組合せを変えるとともに、ウェーハ11を載せたウェーハステージ22を回転制御することにより、テレビカメラ13の画像データから、ノッチ部分の形状、面取り幅、オリフラ長さ、ウェーハ直径などを測定し、さらにウェーハ表面の観察を行う観察モードに切り換えることができる画像処理装置25とを備える。
請求項（抜粋）：
少なくとも一面側の外周縁全域が面取りされた半導体ウェーハの外周の一部に形成されたノッチ部分の形状とウェーハ直径を光学的に測定するウェーハ形状測定装置であって、回転自在とされた半導体ウェーハ載置用のウェーハステージと、前記ウェーハステージに載置された半導体ウェーハのノッチ部分の一面側をウェーハ表面に対して垂直方向から撮像する撮像手段と、前記撮像手段とノッチ部分を結ぶ撮像光路上に配置され、半導体ウェーハの他面側からノッチ部分に光を照射する第1照明手段と、前記半導体ウェーハの一面側に配置され、ウェーハの面取り面を照射しない角度でウェーハ表面に対して光を照射する第2照明手段と、前記第1照明手段のみを点灯し、前記撮像手段からの画像データに基づいてウェーハのノッチ部分の形状を測定するノッチ形状測定モードと、前記第1照明手段および第2照明手段を点灯し、前記撮像手段からの画像データに基づいてウェーハの面取り幅を測定する面取り幅測定モードと、前記第1照明手段のみを点灯し、前記ウェーハステージを回転させて得られる画像データに基づいてウェーハの直径を測定するウェーハ直径測定モードとに切り替える画像処理手段とを具備したことを特徴とするウェーハ形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/08 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01B 11/24 K ,  G01B 11/02 H ,  G01B 11/08 H ,  H01L 21/66 Z
Fターム (48件)：
2F065AA12 ,  2F065AA22 ,  2F065AA23 ,  2F065AA26 ,  2F065AA32 ,  2F065AA45 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ12 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN01 ,  2F065NN20 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ35 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ24
引用特許：
審査官引用 (8件)
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