特許
J-GLOBAL ID：200903077888652173

3次元形状測定装置及び方法

発明者：
クワン・イル・コー

クワン・イル・コー について

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ウン・ヒュン・ソン

ウン・ヒュン・ソン について

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モン・ユン・ジョン

モン・ユン・ジョン について

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ミン・ユン・キム

ミン・ユン・キム について

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スン・ジュン・リー

スン・ジュン・リー について


出願人/特許権者：
コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド

コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド について


代理人 (12件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  砂川 克 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-336691
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163498
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】3次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。【解決手段】3次元形状測定装置はX-Yステージと、第1及び第2照明と、前記第1及び第2照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第1及び第2照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第1及び第2フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第3照明からなる光経路変換器と、第3フィルタと、前記第3フィルタを経由した光を結像するために第3フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数個の認識マークが形成されたベース部材が安着されるXYステージと、 光を発生する第1及び第2照明と、前記第1及び第2照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記第1及び第2照明と前記複数個の投影レンズの間に設置されて複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第1及び第2照明から発生した光の照射方向と垂直な方向に移動させるための投影部移送手段と、からなる投影部と、 前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側にそれぞれ設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第1及び第2フィルタと、前記第1及び第2フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第3照明からなる光経路変換器と、 第3フィルタと、前記第3フィルタを経由した光を結像するために第3フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影するために結像レンズの上側に設置される結像カメラと、からなる結像部を具備することを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (1件)：
G01B11/24 K
Fターム (28件)：
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB27 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF07 ,  2F065FF09 ,  2F065GG13 ,  2F065HH06 ,  2F065HH08 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065LL26 ,  2F065LL31 ,  2F065LL41 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065NN03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065UU01
引用特許：
審査官引用 (8件)
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