特許
J-GLOBAL ID：200903078080240079
レジスト樹脂用モノマーおよびそれを重合単位として含むレジスト用樹脂
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-351365
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188351
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつアルカリ現像で解像性の良好で密着性の高いレジストパターンを形成することができる感光性組成物に用いることができるレジスト用樹脂およびそれを製造するためのモノマーの提供。【解決手段】 本発明は、5員環、6員環、及び7員環からなる群より選ばれる少なくとも2つ以上の環の組み合わせよりなる有橋脂環式骨格を構造中に含む樹脂であって、前記樹脂における有橋脂環式骨格内を構成する少なくとも1つの炭素が二重結合を介して酸素と結合しているレジスト用樹脂、およびそのようなレジスト樹脂を構成することのできるモノマー。
請求項（抜粋）：
5員環、6員環、および7員環からなる群から選ばれる少なくとも2つ以上の環の組み合わせを有する有橋脂環式骨格であって、ノルボニル環、アダマンチル環、ジシクロペンタン環、トリシクロデカン環、テトラシクロドデカン環、ボルネン環、デカヒドロナフタレン環、ポリヒドロアントラセン環、トリシクレン、コレステリック環、ステロイド骨格、タンジュウサン、ジキタロイド、ショウノウ環、イソショウノウ環、セスキテルペン環、サントン環、ジテルペン環、トリテルペン環、およびステロイドサポニンからなる群から選ばれる骨格を構造中に含み、かつ有橋脂環式骨格を構成する少なくともひとつの炭素が二重結合を介して酸素と結合していることを特徴とするレジスト用樹脂。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, C08F 20/28
, C08G 63/199
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F 20/28
, C08G 63/199
, H01L 21/30 502 R
