特許

J-GLOBAL ID：200903078316151765

ガスセンサの製造方法

発明者： 関口 幸成 ,  斉藤 靖弘 ,  堂見 新二郎 ,  出来 成人 ,  伊藤 達也 ,  神田 奎千 ,  鈴木 健吾
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社 ,  財団法人新産業創造研究機構 ,  新コスモス電機株式会社
代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-100078
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315873
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】 本発明は、ガスセンサに用いる金属の酸化物半導体膜を、コスト的に有利な湿式法で、しかも均一な薄膜で微細な粒子径を有するガスセンサの製造方法の提供を目的とする。【解決手段】 ガスセンサの製造方法は、金属のフルオロ錯体と金属のフルオロ錯体からフッ素イオンを化学的に捕捉する捕捉剤とを含む処理液22、または捕捉剤のみを含む処理液22に、基板12を接触させ、さらに処理液22に金属のフルオロ錯体を添加しながら、金属の酸化物半導体膜を基板12の上に析出させる工程を備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

金属のフルオロ錯体と当該金属のフルオロ錯体からフッ素イオンを化学的に捕捉する捕捉剤とを含む処理液、または前記捕捉剤のみを含む処理液に、基板を接触させ、さらに前記処理液に前記金属のフルオロ錯体を添加しながら、前記金属の酸化物半導体膜を前記基板の上に析出させる工程を備えるガスセンサの製造方法。

IPC (1件)：

G01N27/12

FI (2件)：

G01N27/12 M ,  G01N27/12 C

Fターム (14件)：

2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC04 ,  2G046BC08 ,  2G046BE03 ,  2G046FB02 ,  2G046FC01 ,  2G046FE12 ,  2G046FE15 ,  2G046FE39 ,  2G046FE44 ,  2G046FE46 ,  2G046FE48

引用特許：

出願人引用 (6件)

• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-341856   出願人：フイガロ技研株式会社
• 感湿素子、その製法およびそれを用いた感湿装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-353699   出願人：株式会社リコー
• ガスセンサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-141434   出願人：フイガロ技研株式会社
• ガスセンサ材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-049133   出願人：エフアイエス株式会社, 松下精工株式会社
• ニオイ検知素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-134676   出願人：新コスモス電機株式会社
• 半導体ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-255560   出願人：富山県, 科学技術振興事業団, コーセル株式会社, 北陸電気工業株式会社, 東洋化工株式会社

審査官引用 (5件)

• 特開平4-338136
  
• 特開昭58-161944
  
• 多孔質金属酸化物半導体薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-111305   出願人：学校法人慶應義塾
• 色素増感型太陽電池の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-145896   出願人：松下電工株式会社
• セラミックの製造方法およびセラミック、並びにそれを用いたセンサーおよび触媒
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-121346   出願人：株式会社村田製作所