研磨パッド及びこれを用いた板状材の研磨方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒井潤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213156
公開番号（公開出願番号）：特開平11-048128
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】研磨傷が付きにくく比較的高い研磨レートが得られる研磨パッドを得る。【解決手段】板ガラス4を研磨するに際し、160°C以上の融点を有するか、または、荷重4.6kg/cm2 における熱変形温度が150°C以上であり、ヤング率が0.5GPa未満であり、表面に幅0.5〜5mmの溝とランドを交互に形成した高分子シート1から成る研磨パッドを定盤5に両面粘着テープ6で貼り付けて用いる。

請求項（抜粋）：

160°C以上の融点を有するか、もしくは、ASTM材料試験規格に基づく荷重4.6kg/cm2 における熱変形温度が150°C以上である高分子シートからなる研磨パッドであって、実質的に無気孔であり、ASTM材料試験規格に基づくヤング率が0.5GPa未満であり、研磨面に複数本の溝を有することを特徴とする研磨パッド。

引用特許：

審査官引用 (7件)

研磨パッドおよびその使用方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-526396 出願人：ローデル・インコーポレイテッド
化学的機械研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-052129 出願人：ソニー株式会社
ガラス板研磨パッドとガラス板の研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-101612 出願人：旭硝子株式会社

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