特許
J-GLOBAL ID：200903079226623567

特性分布の特徴量抽出方法および特性分布の分類方法

発明者：
豊島 哲朗

豊島 哲朗 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (2件)： 山崎 宏 ,  前田 厚司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-070741
公開番号（公開出願番号）：特開2007-248198
出願日： 2006年03月15日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】教示サンプルから他の成分とは独立した独立成分で成る特徴軸を抽出する。【解決手段】過去事例に該当する該当サンプルの特性分布の集合から、独立成分分析等によって独立した信号源の推定値であるp個の独立成分を得、得られたp個の独立成分に基づくp次元の独立成分ベクトルを特徴軸とする特徴空間を設定する。こうすることによって、該当サンプルと非該当サンプルとの特徴空間の重なりを防止する。さらに、目的サンプルの特徴量を、この目的サンプルの特性分布と上記独立した特徴軸との内積で決定することによって、目的サンプルの特性分布に基づいて客観的に特徴量を設定できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
1個の製品当たりn(nは自然数)個の領域を有するm(mは自然数)個の製品が、ユーザによって同一特性分布のクラスに属するとして選別されたライブラリがあると判別手段で判別した場合に、 上記m個の製品の特性分布xk(k=1,...,m)の集合から、互いに無相関であり且つ互いに独立しているp(pは自然数)個の特徴成分(p<m)を抽出手段で抽出し、 上記p個の特徴成分に基づくp個の独立成分ベクトルSj(j=1,...,p)を特徴軸とする特徴空間を当該クラスの特徴空間として空間設定手段で設定し、 目的とする製品における特性分布の特徴量を、上記特徴軸を用いて特徴量抽出手段で抽出する ことを特徴とする特性分布の特徴量抽出方法。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G06T7/00 250 ,  H01L21/66 A
Fターム (20件)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11 ,  2G051ED21 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096HA09 ,  5L096JA11 ,  5L096JA22 ,  5L096KA04 ,  5L096MA07
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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