基板搬送装置及びこれを適用し得る半導体製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-333059
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163302
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】基板を搬送する際に生じる基板位置のずれを検出する。特に、OFSステーションからハンドにウエハを受け渡すときの受け渡しずれ量および、ハンドからウエハチャックにウエハを受け渡すときの受け渡しずれ量を検知し、これらのずれ量分をファインアライメントする前に補正することによって、問題なくファインアライメントをすることを可能にする。【解決手段】第1の位置にある基板を受け取って保持し、その基板を搬送して第2の位置へ受け渡す基板搬送手段を備えた基板搬送装置であって、第1の位置から第2の位置に基板を搬送する際に生じた基板の位置のずれを検出するずれ検出手段を有する基板搬送装置。基板は露光装置において露光されるもの、第1の位置は、露光装置のオリエンテーションフラット検知兼パターンプリアライメントステーション、第2の位置は、露光装置のファインアライメント兼露光ステージ、とすることができる。基板搬送装置は、基板の位置ずれ量を考慮して、ファインアライメントを行うための露光ステージを移動することができる。

請求項（抜粋）：

第1の位置にある基板を受け取って保持し、その基板を搬送して第2の位置へ受け渡す基板搬送手段を備えた基板搬送装置において、第1の位置から第2の位置に基板を搬送する際に生じた基板の位置のずれを検出するずれ検出手段を有することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 M , H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (7件)

ウェーハ位置検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163103 出願人：国際電気株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-242187 出願人：キヤノン株式会社
位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-151566 出願人：株式会社ニコン

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