コンデンサ及び半導体装置並びにそれらの作製方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-124838
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036019
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】信頼性の高いコンデンサ並びに動作性能および信頼性の高い半導体装置及びそれらの作製方法を提供する。【解決手段】第1導電膜102、絶縁物からなる誘電体103及び第2導電膜104で形成されたコンデンサにおいて、誘電体103に偶発的に形成されてしまったピンホール106を樹脂材料からなる絶縁物(充填物)107で埋め込むことを特徴とする。これにより第1導電膜102と第2導電膜104との間でショートする不良を防ぐことができる。また、このようなコンデンサを半導体装置の画素に具備される保持容量として用いる。

請求項（抜粋）：

第1導電膜と、該第1導電膜に接して設けられた絶縁物と、該絶縁物に接して設けられた第2導電膜とで形成され、前記絶縁物は樹脂材料からなる絶縁物が充填されている領域を有することを特徴とするコンデンサ。

IPC (9件)：

H01L 27/04 , H01L 21/822 , G02F 1/1339 500 , G02F 1/1339 505 , G02F 1/1368 , H01L 21/20 , H01L 21/265 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (8件)：

H01L 27/04 C , G02F 1/1339 500 , G02F 1/1339 505 , H01L 21/20 , G02F 1/136 500 , H01L 21/265 H , H01L 29/78 612 Z , H01L 29/78 619 A

引用特許：

審査官引用 (16件)

薄膜コンデンサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-015180 出願人：松下電器産業株式会社
バックライト
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-260360 出願人：株式会社ブリヂストン
表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-273456 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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