表示デバイス用Al合金膜、表示デバイス、及びスパッタリングターゲット

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：植木久一 , 菅河忠志 , 二口治 , 伊藤浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-168298
公開番号（公開出願番号）：特開2008-160058
出願日： 2007年06月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】バリアメタルを設けず、導電性酸化膜とAl合金膜を直接接続させても、導電性酸化膜とAl合金膜との間の密着性が高く、コンタクト抵抗率が低く、好ましくは、ドライエッチング性にも優れたAl合金膜を提供する。【解決手段】基板上にて、導電性酸化膜に直接接続する表示デバイス用Al合金膜であって、Al合金膜は、Geを0.05〜0.5原子%含有し、Gdおよび/またはLaを合計で0.05〜0.45原子%含有する表示デバイス用Al合金膜である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板上にて、導電性酸化膜に直接接続する表示デバイス用Al合金膜であって、該Al合金膜は、Geを0.05〜0.5原子%含有し、Gdおよび/またはLaを合計で0.05〜0.45原子%含有することを特徴とする表示デバイス用Al合金膜。

IPC (9件)：

H01L 21/28 , H01L 29/786 , H01L 21/285 , H01L 29/417 , H01L 29/423 , H01L 29/49 , G02F 1/134 , G02F 1/136 , G09F 9/30

FI (11件)：

H01L21/28 301R , H01L29/78 616V , H01L29/78 612C , H01L29/78 617M , H01L29/78 616U , H01L21/285 S , H01L29/50 M , H01L29/58 G , G02F1/1343 , G02F1/1368 , G09F9/30 330Z

Fターム (82件)：

2H092GA11 , 2H092GA28 , 2H092HA04 , 2H092HA06 , 2H092JA24 , 2H092JA41 , 2H092JA45 , 2H092KA18 , 2H092MA05 , 2H092MA15 , 2H092MA18 , 2H092NA27 , 4M104AA01 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB16 , 4M104BB38 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD08 , 4M104DD16 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104DD65 , 4M104FF08 , 4M104FF17 , 4M104GG09 , 4M104GG14 , 4M104HH03 , 4M104HH15 , 4M104HH16 , 5C094AA21 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA46 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094EA10 , 5C094FB12 , 5C094GB10 , 5C094JA01 , 5C094JA05 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG45 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN12 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110PP03 , 5F110PP35

引用特許：

出願人引用 (7件)

表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-083260 出願人：株式会社東芝
薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086291 出願人：三菱電機株式会社
薄膜トランジスタおよび該薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086292 出願人：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ

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