特許
J-GLOBAL ID：200903080428617540

ロードポート装置におけるウェハキャリアの移載装置

発明者：
山本 太郎

山本 太郎 について

, 
椿 達雄

椿 達雄 について


出願人/特許権者：
神鋼電機株式会社

神鋼電機株式会社 について


代理人 (1件)： 内藤 哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-027115
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217298
出願日： 2000年02月04日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】半導体製造装置にロードポート装置を設置させる際に、ウェハキャリアの移載装置を構成するアームとすくい板との連結軸が、前記半導体製造装置内に侵入したときの侵入長を短くすることである。【解決手段】ロードポート装置Lに配設され、ウェハキャリアCを下方からすくい上げて移載する構成の一対のすくい板本体9a,9b を備えた移載装置A1 において、一対のすくい板本体9a,9b を前後動させるための制御モータMを、前記ロードポート装置Lの正面視においてキャリア読取装置Rの側方で、平面視において半導体製造装置Hの開口2と前記キャリア読取装置Rとの間の中間部に配置させる。
請求項（抜粋）：
ロードポート装置のキャリア移載面の最も手前側の部分に、キャリアID読取装置が幅方向に配設されて、すくい板の上昇、水平移動及び下降を、この順序で行って、垂直下方に搬送されて前記キャリア移載面に移載されたウェハキャリアを、半導体製造装置の手前側の開口を通過させて、前記半導体製造装置内に移載させる装置であって、前記すくい板を水平移動させるアーム装置は、駆動軸に連結されるアームに多段に連結される複数本のアームを備え、前記駆動軸と同心の固定軸と、前記複数本のアームどうしを連結している各連結軸とを確動ベルト機構で連結して、前記複数本のアームの旋回により、前記すくい板を前後動のみさせる構成であって、前記アーム装置を駆動する前記駆動軸を、正面視において、前記キャリアID読取装置の側方に配置し、しかも、平面視において、前記開口と前記キャリアID読取装置との間の中間部に配置させたことを特徴とするロードポート装置におけるウェハキャリアの移載装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 17/00
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 17/00 G
Fターム (30件)：
3F060AA02 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060DA09 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA02 ,  3F060GA13 ,  3F060GB02 ,  3F060GB06 ,  3F060GB31 ,  3F060HA05 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA42 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031GA58 ,  5F031JA22 ,  5F031JA49 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20
引用特許：
審査官引用 (7件)
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