特許
J-GLOBAL ID：200903080498306038

重合体、フォトレジスト、エポキシ硬化剤および塗料

発明者：
遠藤 充雄

遠藤 充雄 について

, 
小川 幸志

小川 幸志 について

, 
藤川 八洲興

藤川 八洲興 について


出願人/特許権者：
昭和高分子株式会社

昭和高分子株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-302700
公開番号（公開出願番号）：特開2006-111802
出願日： 2004年10月18日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】 感度、解像度が高いフォトレジスト、耐熱性および電気特性に優れる硬化物を得ることができるエポキシ硬化剤、各種基材への密着性、耐熱性、耐水性に優れる塗料、フォトレジスト用樹脂として有用な重合体を提供する。【解決手段】 式(I)の構成単位を有する重合体を含有するフォトレジスト、エポキシ硬化剤、塗料(R1 は水素原子またはメチル基、R2 は炭素数1〜4のアルキル基、iは0〜4の整数を表す);および、式(II)の構成単位を有する重合体(R3 は水素原子またはメチル基、R4 は炭素数1〜4のアルキル基、R5 は酸で脱離する保護基、jは0〜4の整数を表す)。 【化1】【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記式(I)で示される構成単位を有する重合体を含有することを特徴とするフォトレジスト。
IPC (6件)：
C08F 20/30 ,  C08G 59/62 ,  C09D 133/14 ,  C09D 163/00 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
C08F20/30 ,  C08G59/62 ,  C09D133/14 ,  C09D163/00 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (46件)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J036AA01 ,  4J036FB03 ,  4J036JA06 ,  4J036JA07 ,  4J036JA08 ,  4J038CG141 ,  4J038CH121 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL04Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AM02Q ,  4J100AM15Q ,  4J100AM17Q ,  4J100AM21Q ,  4J100AM49Q ,  4J100AR10Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC43P ,  4J100BC43Q ,  4J100BC53Q ,  4J100JA01 ,  4J100JA38 ,  4J100JA44
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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