特許
J-GLOBAL ID：200903080560645464

照明装置

発明者：
押野 哲也

押野 哲也 について

, 
近藤 洋行

近藤 洋行 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193994
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040480
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 照明効率が高く、円弧状に形成される照明領域でのX線の開口数が照明位置によらずほぼ一様となる高性能な照明装置を提供する。【解決手段】 励起エネルギー光発生部1から射出した励起エネルギー光5は、標的部材2上の異なる複数の箇所に照射される。励起エネルギー光5が照射した部分からはX線が発生する。X線光源は微小な複数の光源6から構成される。発生したX線7は、照明光学系3を介して、X線8として被照射物4に照射される。標的部材2表面が曲面状に形成されているため、光源6も当該曲面上にある。これにより、被照射物4に照射されるX線8は、被照射物4を均一な開口数で照明するようになる。
請求項（抜粋）：
少なくとも、励起エネルギー光を発生して標的部材上の複数箇所に照射する励起エネルギー光発生部と、前記励起エネルギー光の照射を複数箇所で受けることにより複数のX線源が形成される標的部材と、前記複数のX線源からのX線を被照明物に照射する照明光学系とを備えた照明装置において、前記複数のX線源が曲面上に配列されていることを特徴とする照明装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02
FI (3件)：
H01L 21/30 531 A ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X
引用特許：
審査官引用 (8件)
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