特許
J-GLOBAL ID：200903080710092973

慣性センサ

発明者：
鄭 希元

鄭 希元 について

, 
福田 宏

福田 宏 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-163452
公開番号（公開出願番号）：特開2007-333467
出願日： 2006年06月13日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】1つの慣性センサにおいて、1軸の角速度および検出方向の加速度と同時に励振方向の加速度を検出する。【解決手段】励振方向加速度検出部8を互いに逆位相で励振方向に振動している物体、例えば、左右の質量部3に弾性体25を介して配置する。これにより、励振方向に加速度が印加された場合、普段同振幅かつ逆位相で振動している左右の質量部3は、同位相の変位量を有することになり、その同位相の変位量を静電容量の変化として、励振方向加速度検出部8により検出することで、励振方向の加速度を検出することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(a)主面を有する基板と、 (b)前記基板の主面上の第1方向に沿って配置された第1センサユニットおよび第2センサユニットを備え、 前記第1センサユニットおよび前記第2センサユニットのそれぞれは、 (b1)前記第1方向である励振方向に振動する励振素子と、 (b2)前記励振素子を前記励振方向に振動させる励振部とを有し、 前記第1センサユニットの励振素子と前記第2センサユニットの励振素子とは逆位相で振動し、 (c)前記第1センサユニットの励振素子と前記第2センサユニットの励振素子とに弾性体を介して接続され、前記励振方向の加速度を検出する励振方向加速度検出部を備えることを特徴とする慣性センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/18
FI (4件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125 Z ,  G01P15/00 K
Fターム (4件)：
2F105BB11 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 半導体力学量センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-287663   出願人：株式会社デンソー
  • 特許第3512004号
  • ヨーレートセンサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566605   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
審査官引用 (4件)
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