特許
J-GLOBAL ID：200903023461494590

2軸の加速度検知及び1軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサ

発明者：
ジーン,ジョン,エー.

ジーン,ジョン,エー. について


出願人/特許権者：
アナログ ディバイス インコーポレイテッド

アナログ ディバイス インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-513354
公開番号（公開出願番号）：特表2006-524825
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【解決手段】2軸の加速度検知及び1軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。このマルチセンサは、堅固な加速度計フレームと、第1の慣性質量と、第2の慣性質量とを備える。基板は、基板の面内の2つの関連した加速度軸と、この加速度軸に垂直な1つの関連した回転軸とを有する。慣性質量は、回転軸に垂直な共通の振動軸を有する。このマルチセンサは更に、慣性質量を逆相で振動させるための駆動電極構造体と、加速度軸の一方に沿って配設された加速度検知電極構造体の第1の対と、他方の加速度軸に沿って配設された加速度検知電極構造体の第2の対とを有する。このマルチセンサは、それぞれの検知電極対によって与えられる検知信号を加算して、加速度軸に沿った加速度検知に属する情報を抽出し、またそれぞれの検知電極対によって与えられる検知信号の差を加算して、回転軸に対する角速度検知に属する情報を抽出する。
請求項（抜粋）：
マルチセンサであって、 実質的に平面的な加速度計フレームと、 このフレームに結合された第1の慣性質量と、 前記フレームに結合された第2の慣性質量と、 前記フレームに結合されると共に、第1の加速度軸に沿って配設された正反対に対向する加速度検知電極構造体の第1の対と、 前記フレームに結合されると共に、第1の加速度軸に垂直な第2の加速度軸に沿って配設された正反対に対向する加速度検知電極構造体の第2の対とを備え、 第1及び第2の慣性質量は、振動軸に沿って逆相で振動するように構成され、この振動軸は、加速度軸によって規定される面内にあり、 各加速度検知電極構造体は、それぞれの加速度検知信号を生成するように構成され、各検知信号は、残りの検知信号から電気的に独立していることを特徴とするマルチセンサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/18 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (5件)：
G01P15/125 Z ,  G01C19/56 ,  G01P15/00 K ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z
Fターム (14件)：
2F105BB13 ,  2F105BB17 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (12件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-074459   出願人：アイシン精機株式会社
  • 複合センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-159047   出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
  • 直線加速度計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-361052   出願人：日本碍子株式会社
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