特許
J-GLOBAL ID：200903081423860745

原子吸光式レートモニター

発明者：
内田 一也

内田 一也 について

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箱守 宗人

箱守 宗人 について

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倉内 利春

倉内 利春 について

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松崎 封徳

松崎 封徳 について


出願人/特許権者：
日本真空技術株式会社

日本真空技術株式会社 について


代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108615
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】蒸発金属粒子等のレートを多少に係わらず長時間に亘り正確に検出でき、正確なレート制御を行え、任意の位置でそのレートを個別に正確に検出できる原子吸光式レートモニターを提供する。【解決手段】光照射プローブ8からの光軸13上に受光プローブ10を設け、これら光照射プローブと受光プローブの間の吸光領域16を通過する蒸発金属粒子の原子に該光照射プローブからの光を吸収させて該金属粒子の量をモニターする装置に於いて、該光照射プローブと受光プローブの各前面に該光軸に沿ったパイプ14、15を設けた。パイプの吸光領域側の開口部に金属粒子の付着を防止する加熱装置18を設け、パイプをその軸方向に移動自在として吸光領域の距離を一定に制御する。パイプ間に更にパイプを設け、金属粒子がパイプ間の吸光領域を通過することを制御するシャッター23を設ける。
請求項（抜粋）：
光照射プローブからの光軸上に受光プローブを設け、これら光照射プローブと受光プローブの間の吸光領域を通過するスパッタ金属粒子或いは蒸発金属粒子の原子に該光照射プローブからの光を吸収させて該金属粒子の量をモニターする装置に於いて、該光照射プローブと受光プローブの各前面に該光軸に沿ったパイプを設けたことを特徴とする原子吸光式レートモニター。
IPC (2件)：
G01N 21/31 610 ,  C23C 14/54
FI (2件)：
G01N 21/31 610 A ,  C23C 14/54 C
Fターム (13件)：
2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059CC03 ,  2G059EE01 ,  2G059FF06 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK01 ,  2G059LL02 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029EA00
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (21件)
  • 原子吸光方式蒸着速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-135769   出願人：株式会社安川電機
  • 特開昭47-008050
  • 特開昭59-157508
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