特許
J-GLOBAL ID：200903081430186286
エッチング用組成物及びエッチング方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-223989
公開番号（公開出願番号）：特開2008-047796
出願日： 2006年08月21日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】高純度リン酸の窒化ケイ素エッチング組成物では酸化ケイ素が液中に蓄積され、ケイ素酸化物が析出し、エッチング装置、半導体ウエハなどに汚物として付着してしまうという問題があった。【解決手段】リン酸、1〜20重量%のポリリン酸、1〜30重量%の水を含んでなる窒化ケイ素のエッチング用組成物を用いる。エッチング用組成物はさらに可溶性ケイ素化合物、フッ化物を含んでなることが好ましく、0〜0.5重量%含むことが好ましい。
請求項（抜粋）：
リン酸、1〜20重量%のポリリン酸、1〜30重量%の水を含んでなる窒化ケイ素のエッチング用組成物。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
-
エッチング液の精製方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-253672
出願人：日曹エンジニアリング株式会社
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
