特許
J-GLOBAL ID：200903081793099962
アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-177663
公開番号（公開出願番号）：特開2008-010528
出願日： 2006年06月28日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：
【課題】電体層の結晶性を向上して駆動耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】基板10上に変位可能に設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300を具備し、前記上電極80の長手方向の端部が、前記圧電素子300の実質的な駆動部となる圧電体能動部320の長手方向の端部を規定していると共に、前記下電極60及び前記圧電体層70が、前記圧電体能動部320の長手方向の外側まで連続して設けられており、且つ前記圧電体層70の前記圧電体能動部320の外側の領域を厚さの薄い薄膜部71とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に変位可能に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備し、
前記上電極の長手方向の端部が、前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の長手方向の端部を規定していると共に、前記下電極及び前記圧電体層が、前記圧電体能動部の長手方向の外側まで連続して設けられており、且つ前記圧電体層の前記圧電体能動部の外側の領域が厚さの薄い薄膜部となっていることを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H01L41/08 J
, B41J3/04 103A
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
2C057AF65
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AG91
, 2C057BA03
, 2C057BA14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
