特許
J-GLOBAL ID：200903082127869822
プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-010876
公開番号（公開出願番号）：特開2007-134737
出願日： 2007年01月19日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：
【課題】シールドリングが大型化してもシールドリングを容易に製作することができると共にシールドリングを容易に取り扱うことができ電極への取り付け作業等の作業性を高めることができ、しかもシールドリングとしての性能が低下することのないシールドリングを備えたプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】シールドリング9Aは周方向に繋いで用いられる複数の分割シールドリング9A’からなり、一の分割シールドリング9A’の一方の第1の分割端面にはジグザグ状の段部が形成されており、且つ、前記分割シールドリング9A’の他方の第2の分割端面には別の分割シールドリング9A’の第1の分割端面と係合するジグザグ状の段部が形成されており、隣接する分割シールドリング9A’の繋ぎ目9Cは、一方の分割シールドリング9A’の第1の分割端面と他方の分割シールドリング9A’の第2の分割端面とが係合して形成されてなる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液晶表示用基板の形状に即して形成された電極を有する載置台と、この載置台を構成する電極の周縁部を被覆するシールドリングと、を備えたプラズマ処理装置において、
上記シールドリングは周方向に繋いで用いられる複数の分割部材からなり、
上記分割部材の一方の第1の分割端面には上記分割部材の上記シールドリングの軸芯に沿う方向で互いに段差を有し且つ上記軸芯に沿う方向と直交する方向へ複数の第1の端面部が連設されており、且つ、上記各第1の端面部にはそれぞれの端面部の下部を上記軸芯に沿う方向に切り欠いた切欠部が形成されて上記各第1の端面部から上記軸方向に後退する後退面部が形成されており、また、
上記分割部材の他方の第2の分割端面には上記分割部材の上記シールドリングの軸芯に沿う方向で互いに段差を有し且つ上記軸芯に沿う方向と直交する方向へ複数の第2の端面部が他の分割部材の上記各第1の端面部と当接するように連設されており、且つ、上記各第2の端面部にはそれぞれの下部が突出して上記他の分割部材の切欠部を補完する突出部が形成されてそれぞれの先端に上記各後退面部と当接する突出面部が形成されており、
隣接する上記分割部材の繋ぎ目は、一方の分割部材の第1の分割端面と他方の分割部材の第2の分割端面とが係合して形成されてなる
ことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F004AA16
, 5F004BA06
, 5F004BB29
, 5F004BC06
, 5F004BD01
, 5F004BD03
