特許
J-GLOBAL ID：200903082184771359

金属パターンを有する基板の検査方法及び検査装置

発明者：
三橋 光幸

三橋 光幸 について

, 
岡谷 真治

岡谷 真治 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-282352
公開番号（公開出願番号）：特開2008-101926
出願日： 2006年10月17日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】金属パターンを有する基板の表面に施されためっきされていない非めっき部とめっきがされているめっき部の欠陥検査方法及び検査装置の提供である。【解決手段】めっきがされためっき部及びめっきされていない非めっき部で構成された金属パターンを有する基板を、一定速度で一方向へ移動する搬送し、50と、金属基板を一定速度で一方向へ移動する搬送手段50と同期を取り、かつ金属基板の表面に存在する圧延影響を軽減させるため仰角を持たせ金属基板表面を撮影し、金属基板の金属材料とめっき材料との反射強度差異が最も大なる波長域の光を利用し、かつ間接光で照射し、金属基板表面を撮影して得られた画像信号データを用いて、金属基板表面に存在する欠陥を判定する制御・画像処理による検査方法および検査装置を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面にめっきがされためっき部とめっきがされていない非めっき部からなる金属パターンを有する基板を一定速度で一方向に搬送する搬送工程と、 前記搬送工程と同期をとるように駆動し、かつ撮像用カメラの撮像角度が0°〜10°で前記金属パターンを有する基板の表面を撮像する工程と、 前記金属パターンを有する基板の前記非めっき部の金属材料と前記めっき部のめっき材料との反射強度の差異が最大となる波長域の光を間接光で照射する工程と、 前記撮像工程により得られた前記金属パターンを有する基板の表面の画像信号データを用いて、前記非めっき部と前記めっき部に存在する欠陥を判定する制御・画像処理する工程と を有することを特徴とする金属パターンを有する基板の検査方法。
IPC (1件)：
G01N 21/956
FI (1件)：
G01N21/956 B
Fターム (12件)：
2G051AA62 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CD07 ,  2G051EA23
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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