特許
J-GLOBAL ID：200903030346112796
表面欠陥の検出方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
松山 圭佑
, 高矢 諭
, 牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-397708
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191370
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】磁気テープ等の表面欠陥を高SNRで検出する。【解決手段】表面欠陥検出装置10は、磁気テープ12の表面に、CCDラインカメラ22による帯状検査領域22Aを設定し、検査光照射装置20から光18を照射して、帯状検査領域22Aの外側に隣接してテープ幅方向に長い帯状の光源像領域18Aを形成し、更に、磁気テープ12の表面に直交し、且つ、光源像領域18Aの幅方向中心線を含む第1の仮想平面16に対して、CCDラインカメラ22のカメラ光軸21を傾斜角βが0<β≦10°となるように傾けて設定し、光18の照射光軸19がCCDラインカメラ22の鏡像位置を通り、且つ、光出射口18Bから帯状検査領域22Aの幅方向中心を通る設定直線19Bとカメラ光軸21のカメラ対称光軸23とのなす傾斜角αが、0<α<25°となるように設定し、CCDラインカメラ22での受光信号が一定レベル以上になるとき、判定装置24において欠陥検出信号を出力させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査対象物表面に、カメラによる検査領域を設定し、且つ、この検査領域の中心を通るカメラ光軸を、前記検査対象物表面の法線に対する傾斜角βが0<β≦10°となるように傾けて設定し、前記検査領域を含む照射領域に、光を入射したとき、この照射領域中であって前記検査領域の外側に隣接する位置に、前記光の出射口の鏡像が位置するように、該光の出射口を設定し、且つ、この光の出射口の中心と前記検査領域の中心とを通る設定直線が、前記法線に対する前記カメラ光軸のカメラ対称光軸とのなす傾斜角αを0<α<25°に設定し、前記検査領域からの散乱光を前記カメラにより受光して、受光信号に変換し、この受光信号が前記検査領域の無欠陥部からの受光信号の強度よりも一定値以上大きいとき、前記検査対象物の表面欠陥として検出することを特徴とする表面欠陥の検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/892 A
, G01B11/30 A
2F065AA49
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065CC02
, 2F065DD04
, 2F065FF41
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065HH16
, 2F065JJ02
, 2F065JJ08
, 2F065JJ25
, 2F065LL03
, 2F065PP16
, 2F065QQ03
, 2F065QQ25
, 2F065RR06
, 2G051AA32
, 2G051AA37
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051BB01
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CA06
, 2G051DA06
, 2G051EA25
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (3件)
前のページに戻る
