特許
J-GLOBAL ID：200903088133114718

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
諏訪 充史

諏訪 充史 について

, 
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172430
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075997
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物と、(d)アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から選ばれる粒子径1nmから30nmの無機粒子を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ可溶性ポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物と、(d)アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも1種選ばれる粒子径1nmから30nmの無機粒子を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 501 ,  C08G 69/26 ,  G02B 1/04 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/037 501
FI (5件)：
G03F 7/004 501 ,  C08G 69/26 ,  G02B 1/04 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/037 501
Fターム (52件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J001DA01 ,  4J001DC05 ,  4J001DC08 ,  4J001DD01 ,  4J001DD04 ,  4J001DD05 ,  4J001DD07 ,  4J001DD08 ,  4J001EB07 ,  4J001EB08 ,  4J001EB14 ,  4J001EB34 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB46 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB60 ,  4J001EB69 ,  4J001EC14 ,  4J001EC24 ,  4J001EC27 ,  4J001EC33 ,  4J001EC36 ,  4J001EC44 ,  4J001EC66 ,  4J001EC70 ,  4J001EC74 ,  4J001EC75 ,  4J001FA01 ,  4J001FB03 ,  4J001FB06 ,  4J001FC03 ,  4J001JA01 ,  4J001JA20
引用特許：
審査官引用 (13件)
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