特許
J-GLOBAL ID：200903082299850880
圧電体ウエハの研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-311194
公開番号（公開出願番号）：特開2006-123020
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 遊星歯車方式の研磨機を用いた圧電体ウエハの研磨加工において、大口径の圧電体ウエハを用いても厚みバラツキが小さく、厚みすべり振動子の製造コストを大幅に低減可能な研磨方法を提供する。【解決手段】 圧電体ウエハの研磨加工において、2段階以上の研磨加工を行う場合に、最終段階の研磨加工の途中で、研磨加工を一時停止し、圧電体ウエハの反転を行った後に、再び研磨を開始して最終の厚みまで研磨する。これにより、圧電体ウエハ面内全体での厚みバラツキを最小限に抑える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
遊星歯車方式の研磨機を用いた圧電体ウエハの研磨加工において、2段階以上の研磨加工を行う場合に、最終段階の研磨工程の途中で、研磨加工を一時停止し、前記圧電体ウエハの反転を行った後に、再び研磨を開始して最終の厚みまで研磨することを特徴とする圧電体ウエハの研磨方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
3C058AA07
, 3C058AB08
, 3C058AB09
, 3C058AC02
, 3C058BA02
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB05
, 3C058DA06
, 3C058DA18
出願人引用 (1件)
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両面研磨方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-076387
出願人：スピードファム株式会社
審査官引用 (6件)
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ウエーハの研磨方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-288187
出願人：富士通株式会社
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研磨方法および研磨装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-082835
出願人：豊田工機株式会社
-
プラネタリ型研磨装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-097037
出願人：日本電波工業株式会社
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