特許
J-GLOBAL ID：200903082936633376
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-304343
公開番号（公開出願番号）：特開2006-120699
出願日： 2004年10月19日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】複数のレーザー干渉計を用いてステージ位置を計測する際の、干渉計の切り替え動作時に波長補正を正しく継承し、位置ずれを低減すること。【解決手段】物体を移動可能なステージと、計測光の経路長の変動に基づいて前記ステージの所定方向の変位を計測すると共に、前記ステージの移動中に、ステージ位置を同時に計測可能な重複領域が存在するように配置された第1及び第2計測手段と、前記重複領域において、前記第1計測手段から前記第2計測手段に計測値を引渡すことにより、前記第1計測手段による計測から第2計測手段による計測に切り替える切替手段と、前記切替手段による切替時の前記ステージ位置において、前記第1計測手段から前記第2計測手段に引渡された計測値に基づいて計測光の波長変動を補正する補正手段とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
物体を移動可能なステージと、
計測光の経路長の変動に基づいて前記ステージの所定方向の変位を計測すると共に、前記ステージの移動中に、ステージ位置を同時に計測可能な重複領域が存在するように配置された第1及び第2計測手段と、
前記重複領域において、前記第1計測手段から前記第2計測手段に計測値を引渡すことにより、前記第1計測手段による計測から第2計測手段による計測に切り替える切替手段と、
前記切替手段による切替時の前記ステージ位置において、前記第1計測手段から前記第2計測手段に引渡された計測値に基づいて計測光の波長変動を補正する補正手段とを具備することを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 503B
, G01B11/00 B
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA37
, 2F065CC00
, 2F065EE00
, 2F065FF51
, 2F065FF63
, 2F065LL12
, 2F065QQ17
, 2F065QQ27
, 5F046BA04
, 5F046CC01
, 5F046CC04
, 5F046CC05
, 5F046CC06
, 5F046CC16
, 5F046DB05
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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