速度計、変位計、振動計および電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山崎宏 , 前田厚司 , 仲倉幸典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-329907
公開番号（公開出願番号）：特開2005-098730
出願日： 2003年09月22日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】小型化および低消費電力化できると共に、被測定物の移動速度および移動方向を高精度に検出できる速度計を提供する。【解決手段】半導体レーザ1の前端面から出射された第1の光束7が回折格子3aに入射すると共に、半導体レーザ1の後端面から出射された第2の光束8が回折格子3bに入射する。回折格子3aによる+1次回折光7aと、回折格子3bによる+1次回折光8bとで検出点14aを形成し、回折格子3aによる-1次回折光7bと、回折格子3bによる-1次回折光8bとで検出点14bを形成する。検出点14a,14bからの散乱光はフォトダイオード2a,2bで受光される。信号処理回路部10は、フォトダイオード2a,2bの出力Sa,Sbに基づいてその散乱光の周波数偏移量を算出する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

複数の光束を出射する半導体発光素子と、上記半導体発光素子から被測定物に至る上記光束の光路上に配置され、上記複数の光束の少なくとも1つの光束の光軸の方向を変更すると共に、上記複数の光束を分岐する光軸変更部と、上記被測定物による散乱光を受ける受光素子と、上記受光素子の出力から上記散乱光の周波数偏移量を算出する信号処理回路部とを備え、上記複数の光束のうちの少なくとも2つを用いて上記被測定物の表面に少なくとも2つの検出点を形成することを特徴とする速度計。

IPC (2件)：

G01P3/36 , G02B5/18

FI (2件)：

G01P3/36 E , G02B5/18

Fターム (3件)：

2H049AA06 , 2H049AA50 , 2H049AA55

引用特許：

出願人引用 (13件)

特開平3-235060号公報
特開平4-204104号公報
変位情報測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-144609 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (8件)

特開平4-025787
速度測定装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-298619 出願人：日本電信電話株式会社
特開平3-291523

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